摘要:
一、引言
振動(dòng)傳感器廣泛應(yīng)用在航空、航天、武器裝備、工業(yè)風(fēng)機(jī)、煤炭機(jī)械、石油機(jī)械、化工機(jī)械、水泥裝備、冶煉機(jī)械、車(chē)輛設(shè)備制造、物流運(yùn)輸、消防、安防等領(lǐng)域，幾十年來(lái)，振動(dòng)傳感器作為世界各國(guó)的尖端技術(shù)，在大規(guī)模集成電路快速發(fā)展的支持下，獲得了長(zhǎng)足發(fā)展和進(jìn)步；在現(xiàn)代大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)中，對(duì)傳感器的精度、穩(wěn)定性也提出了更高要求。
湯姆斯公司在國(guó)內(nèi)、外的研發(fā)工程師和工程技術(shù)人員的共同努力下，借鑒國(guó)內(nèi)外同行業(yè)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，在電信號(hào)測(cè)量方法振動(dòng)傳感器的研發(fā)、制造、工程方面積累了一定經(jīng)驗(yàn)，愿與同行共同分享和交流，以期拋磚引玉，得到該領(lǐng)域?qū)＜摇W(xué)者的指教。
二、振動(dòng)傳感器類(lèi)別
1、按其測(cè)量方式分類(lèi)：
機(jī)械測(cè)量方式：將工程振動(dòng)的參量轉(zhuǎn)換成機(jī)械信號(hào)，經(jīng)過(guò)機(jī)械機(jī)構(gòu)的放大調(diào)整后，再進(jìn)行測(cè)量、記錄；這種測(cè)量方式精度差；在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試時(shí)只能做簡(jiǎn)要估算；
光學(xué)測(cè)量方式：將工程振動(dòng)的參量轉(zhuǎn)換為光學(xué)信號(hào)，經(jīng)過(guò)光學(xué)機(jī)構(gòu)的放大后顯示和記錄，這種測(cè)量方式精度較高，對(duì)工作現(xiàn)場(chǎng)的溫度、濕度、光照有一定要求；
電信號(hào)測(cè)量方式：將工程振動(dòng)的壓力變化、磁場(chǎng)變化，轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，電信號(hào)經(jīng)電路處理后，通過(guò)微控制器做顯示、記錄、分析，隨著高速高精度芯片的大量涌現(xiàn)，電信號(hào)測(cè)量方式而獲得快速發(fā)展，這種測(cè)量方式精度高，對(duì)溫度、濕度、光照等環(huán)境的依賴(lài)度較低；這也是目前工業(yè)生產(chǎn)、生活中應(yīng)用得最廣泛的測(cè)量方法。
